高纯氮气发生器是一种抢先的气体别离技术，以进口碳分子筛(CMS)为吸附剂，选用常温下变压吸附原理(PSA)别离空气制取高纯度的氮气。氧、氮两种气体分子在分子筛表面上的分散速率不相同，直径较小的气体分子(O2)分散速率较快，较多的进入碳分子筛微孔，直径较大的气体分子(N2)分散速率较慢，进入碳分子筛微孔较少。运用碳分子筛对氮和氧的这种选择吸附性差异，致使短时分内氧在吸附相富集，氮在气体相富集，如此氧氮别离，在PSA条件下得到气相富集物氮气。
高纯氮气发生器的必定流量、纯度的普氮和氢氮气发生器气一同进入设置配备布置中，在混杂器中足够混杂后，进入装有钯触媒除氧器设置配备布置，在脱氧催化剂的成果下发生2H2+O2=2H2O的化学反应，抵达脱氧目的。氮气发生器脱氧后氮气中的水气始末冷却器脱水，然后氮气接连进入单调器单调，使氮气露点达-60℃左右，单调器配备两台，其间一台单调器举办吸附单调，另一台把已吸附丰满水气的单调器举办再生，为下一周期吸附工作做好预备。经单调后的氮气始末过滤器除尘，得到的就是高纯氮气。
高纯氮气发生器时分后，分子筛对氧的吸附抵达均衡，根据碳分子筛在不相同压力下对吸附气体的吸附量不相同的特性，下降压力使碳分子筛免除对氧的吸附，这一进程为再生。根据再生压力的不相同，可分为真空再生和常压再生。常压再生利于分子筛的完全再生，易于获得高纯度气体。
变压吸附制氮气发生器(简称PSA制氮机)是按变压吸附技术方案、制造的氮气发生设置配备布置。相同一般运用两吸附塔并联，由全自动操控系统按特定氮气发生器可编脚步严格操控时序，替换举办加压吸附息争压再生，结束氮氧别离，获得所需高纯度的氮气。
